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Micro-capteurs MEMS

Code UE : USEA3Q

  • Cours
  • 3 crédits

Responsable(s)

Catherine ALGANI

Objectifs pédagogiques

I. Bases de la fabrication des MEMS : Rappel des procédés (CM et TD) 
II. MEMS inertiel: accéléromètre MEMS (CM et TD), TP sous le logiciel Coventor sur l' accéléromètre MEMS, gyroscope MEMS, TP sous le logiciels ANSYS sur le gyroscope MEMS 
III. Autres applications des MEMS : capteurs MEMS pour l'environnement, la santé, la biologie, l'énergie, la contamination de l'air.
 
I. Basic of MEMS fabrication : Reminder of MEMS fabrication, Tutorial on MEMS fabrication
II. Inertial MEMS : MEMS accelerometer, Tutorial on MEMS accelerometer, Coventor lab on MEMS accelerometer, MEMS gyroscope, ANSYS tutorial on MEMS gyroscope 
III. Other MEMS applications : MEMS sensors for environment, MEMS sensors for healthcare, MEMS sensors for biology, MEMS sensors for energy, MEMS sensors for airborne particle contamination

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