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Micro-capteurs MEMS

Code UE : USEA3Q

  • Cours
  • 3 crédits

Responsable(s)

Catherine ALGANI

Objectifs pédagogiques

I. Bases de la fabrication des MEMS : Rappel des procédés (CM et TD) 
II. MEMS inertiel: accéléromètre MEMS (CM et TD), TP sous le logiciel Coventor sur l' accéléromètre MEMS, gyroscope MEMS, TP sous le logiciels ANSYS sur le gyroscope MEMS 
III. Autres applications des MEMS : capteurs MEMS pour l'environnement, la santé, la biologie, l'énergie, la contamination de l'air.
 
I. Basic of MEMS fabrication : Reminder of MEMS fabrication, Tutorial on MEMS fabrication
II. Inertial MEMS : MEMS accelerometer, Tutorial on MEMS accelerometer, Coventor lab on MEMS accelerometer, MEMS gyroscope, ANSYS tutorial on MEMS gyroscope 
III. Other MEMS applications : MEMS sensors for environment, MEMS sensors for healthcare, MEMS sensors for biology, MEMS sensors for energy, MEMS sensors for airborne particle contamination

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Intitulé de la formation
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Intitulé de la formation Master Sciences, technologies, santé mention Electronique, énergie électrique et automatique Systèmes communicants en environnement complexe
Type Diplôme national (LMD-DUT-diplôme d'Etat)
Lieu(x) À la carte
Lieu(x) Paris
Entrée Niveau 6
Intitulé de la formation Type Modalité(s) Lieu(x)

Contact

EPN03 - Easy
292 rue Saint-Martin 11-B-2
75141 Paris Cedex 03
Tel :01 40 27 24 81
Adrian Bontour

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