Contactez-nous

Micro-capteurs MEMS

Mis à jour le

Responsable(s) : Mme Catherine ALGANI

  • Cours
Code Cnam : USEA3Q

Envie d'en savoir plus sur cette formation ?

Afin d’obtenir les tarifs, le calendrier de la formation, en distanciel, en présentiel, le lieu de la formation et un contact, remplissez les critères suivants :

Afficher le centre adapté à mes besoins

Afin d’obtenir les tarifs, le calendrier de la formation et le lieu de la formation, remplissez les critères suivants :

  • Durée : 30 heures
  • Package
  • 3 crédits

Présentation

Objectifs

I. Bases de la fabrication des MEMS : Rappel des procédés (CM et TD) 
II. MEMS inertiel: accéléromètre MEMS (CM et TD), TP sous le logiciel Coventor sur l' accéléromètre MEMS, gyroscope MEMS, TP sous le logiciels ANSYS sur le gyroscope MEMS 
III. Autres applications des MEMS : capteurs MEMS pour l'environnement, la santé, la biologie, l'énergie, la contamination de l'air.

 

I. Basic of MEMS fabrication : Reminder of MEMS fabrication, Tutorial on MEMS fabrication
II. Inertial MEMS : MEMS accelerometer, Tutorial on MEMS accelerometer, Coventor lab on MEMS accelerometer, MEMS gyroscope, ANSYS tutorial on MEMS gyroscope 
III. Other MEMS applications : MEMS sensors for environment, MEMS sensors for healthcare, MEMS sensors for biology, MEMS sensors for energy, MEMS sensors for airborne particle contamination

Compétences et débouchés

Parcours

Informations pratiques

Contact